SOC
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SOC是一类用于降低集成电路制造来料高度差的涂层材料,利用其良好的流动性,充分填充前层的沟槽,孔洞等图案,抑制前层带来的高度差,提升光刻胶的曝光成形的性能,适用于DRAM,先进逻辑,3DNAND等高分辨应用场景。具备沟槽和孔洞填充能力好、刻蚀选择比高等特点。